Μετρητής για τη μεσαία έως υπερυψηλή περιοχή κενού
Η απλή θερμική ιονιστική μετρητική σωλήνα Bayard-Alpert BAG402 καλύπτει ένα ευρύ φάσμα μέτρησης από 5 E-10 mbar έως 2,7 E-2 mbar (3,75 E-10 Torr έως 5 E-2 Torr). Η INFICON BPG402 επιτρέπει προσιτές, επαναλαμβανόμενες μετρήσεις από την πίεση εξόδου έως την πίεση διεργασίας σε ένα συμπαγές ενεργό πακέτο μέτρησης. Η μοναδική ανάρτηση των δύο νημάτων εγγυάται απαράμιλλη ακρίβεια, μακροχρόνια σταθερότητα και ανθεκτικότητα.
Δυνατότητες
•Φάσμα μέτρησης από 5 E-10 mbar έως 2,7 E-2 mbar (3,75 E-10 Torr έως 5 E-2 Torr)
•Εξαιρετική επαναληψιμότητα στην περιοχή πίεσης διεργασίας από E-8 έως E-2 mbar με 5%
•Ανίχνευση υπερπίεσης προστατεύει το νήμα από πρόωρη καύση
•Δύο ανθεκτικά νήματα ιριδίου επικαλυμμένα με οξείδιο του yttrium
•Αυτόματη επιλογή ρεύματος εκπομπής μειώνει την πολυπλοκότητα ελέγχου
•Εύκολα αντικαθιστώμενο στοιχείο αισθητήρα με δεδομένα βαθμονόμησης onboard εγγυάται υψηλή αναπαραγωγιμότητα
•Συμμόρφωση με RoHS
Η απλή θερμική ιονιστική μετρητική σωλήνα Bayard-Alpert BAG402 της INFICON καλύπτει ένα ευρύ φάσμα μέτρησης από 1,3 × 10-9 έως 6,7×10-2 mbar (1 × 10-9 έως 5 × 10-2 Torr). Η συμπαγής συσκευή μέτρησης BAG302 προσφέρει έναν εύκολα αντικαθιστώμενο αισθητήρα με δύο νήματα, μια ενσωματωμένη οθόνη OLED, ένα ρελέ επιθυμητής τιμής και μια λογαριθμικά γραμμική αναλογική έξοδο, καθώς και μια ενσωματωμένη ψηφιακή διεπαφή RS485 για περισσότερη ευελιξία στην ενσωμάτωση. Αυτά τα χαρακτηριστικά σε συνδυασμό με τον ανθεκτικό σχεδιασμό καθιστούν το BAG302 ένα προσιτό και αναπαραγώγιμο μετρητικό όργανο για πίεση διαδικασίας έως βασική πίεση με καλή σχέση ποιότητας-τιμής.
Ο Ενισχυμένος Πυρανικός Μετρητής PGE050 για υψηλότερη ακρίβεια μεταξύ 100 mbar και ατμόσφαιρας προορίζεται για χρήση ως αισθητήρας μετρητή στην κλασική "Συνδυασμένη Συσκευή Μετρητή - Ελεγκτής".
Ο Ενισχυμένος Πυρανικός Μετρητής INFICON 050 (PGE050) είναι η παθητική έκδοση των ενεργών ενισχυμένων πυρανικών μετρητών PGE300 και PGE500. Εξοπλισμένος με την ίδια τεχνολογία αισθητήρα, ο PEG050 λειτουργεί σε συνεργασία με τις παθητικές μονάδες ελεγκτή μετρητή VGC031 και VGC083 για να παράγει τις ίδιες υψηλότερες ακριβείς μετρήσεις στην περιοχή μέτρησης μεταξύ 100 και 1000 mbar. Με την ευρύτερη περιοχή μέτρησης και την υψηλότερη ακρίβεια, ειδικά σε χαμηλές πιέσεις, ο PGE050 είναι η πρώτη επιλογή όταν αντικαθιστάτε τους μετρητές θερμοζεύγους στο σύστημα κενού σας. Ο ανθεκτικός σχεδιασμός του μετρητή και του αισθητήρα καθιστά τον PGE050 μια επιλογή υψηλής αξίας/χαμηλού κόστους ιδιοκτησίας και τον καθιστά κατάλληλο για πολλές εφαρμογές όπου απαιτείται οικονομική μέτρηση κενού από χαμηλή έως υψηλή περιοχή κενού.
Η ανθεκτική συσκευή μέτρησης Penning με κρύες καθόδους προσφέρει αξιόπιστες μετρήσεις υψηλού κενού από E-2 mbar έως τον τομέα του υψηλού κενού έως E-9 mbar. Διατίθενται διάφορες επιλογές πεδίου.
Η συσκευή μέτρησης Penning INFICON PEG050 επιτρέπει αξιόπιστες μετρήσεις υψηλού κενού. Ο ανθεκτικός αισθητήρας κρύας καθόδου Penning δεν περιέχει νήμα που μπορεί να καεί. Λόγω των πλακών καθόδου από τιτάνιο και της μειωμένης υψηλής τάσης μετά την εκκίνηση του πλάσματος, η συσκευή μέτρησης μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί σε εφαρμογές ψεκασμού. Οι επιλογές πεδίου επιτρέπουν, σε συνδυασμό με το λογαριθμικό αναλογικό σήμα εξόδου, μια εύκολη ενσωμάτωση σε συστήματα κενού χρησιμοποιώντας τα πρωτόκολλα Profibus DP ή DeviceNet.
Παροχές
• Μεγάλος εύρος μέτρησης από E-9 έως E-2 mbar (7,5 E-10 έως 7,5 E-3 Torr)
• Αισθητήρας πλήρους μετάλλου με κρύα καθόδο (Penning) και κεραμική διέλευση
• Νέα γεωμετρία ηλεκτροδίων εξασφαλίζει εξαιρετικές ιδιότητες εκκίνησης